光谱物理公司提高深紫外功率
日期：1989.01.01 点击数：9
【类型】期刊
【刊名】激光与光电子学进展
【关键词】 制造技术 等离子体管 紫外波长 离子激光器 输出功率 紫外光照射 布儒斯特窗 光刻胶
【摘要】光谱物理公司已把2035型离子激光器的深紫外输出功率从400mW提高到600mW。过去高紫外输出功率始终难于维持,因为当紫外光照射在布儒斯特窗上时,最小的污染也会形成涂层,从而使输出功率减少,
【年份】1989
【期号】第1期
【页码】45
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