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关键词
椭圆偏振测量技术及其应用
作者： 暂无 来源： 现代物理知识 年份： 2003 文献类型 ： 期刊 关键词： 偏振光   光学特性   偏振态   薄膜   椭圆偏振测量技术   探测器   应用  
描述： 材料科学、微电子技术、薄膜技术、物理学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。一、历史回顾追溯椭偏技术的发展 ,已有近百年的历史。在19世纪初 ,人们对光波做了大量的观察和研究 ,发现光波实际上存在着
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